檢索結果：共5筆資料 檢索策略： "材料科學與工程系".dept (精準) and cdept.raw="材料科學與工程系" and cadvisor.raw="洪儒生"
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本論文以平板式電漿輔助化學氣相沉積系統，成長矽薄膜摻雜層及非晶矽薄膜太陽能電池，分別以三丁基磷與三甲基硼為摻雜原料，成長n型及p型非晶矽薄膜、p型的非晶矽及p型微晶矽薄膜，並探討其光電性質。 在成長…
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12吋半導體製程中之化學氣相沉積設備反應室內，所需之精密氧化鋁陶瓷，必須具備有高純度、能抵抗電漿環境中的侵蝕性氣體與300mm以上大尺寸物件的特性。所以，胚體成型的技術是一項重要課題，更需要鑽石工具…
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本研究利用有機金屬化學氣相沈積方式，以三甲基鎵(TMGa)及氨氣(NH3)分別為其鎵源和氮源合成氮化鎵結構。在一維結構方面，使用鍍上金觸媒的Si(100)、藍寶石單晶及氮化鎵單晶為基材來沈積氮化鎵。…
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本論文以平板式電漿輔助化學氣相沉積系統為基礎，分為兩部分：第一部份為成長低介電係數薄膜，實驗採用一矽烷偶合劑γ-glycidoxypropyl-trimethoxysilane(γ-GPS)及辛氟甲…
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本論文的實驗採用分子結構類似TEOS的含碳氫氟長鏈和矽氧烷分子先驅物十三氟-1,1,2,2-四氫辛烷基-三乙氧基矽烷 (tridecafluoro-1,1,2,2-tetrahydrooctyl-t…